Bilder

 DevCounter

Programm zum Zählen und Sortieren von Strukturen (“Devices” genannt) auf einem Wafer.

Ein Wafer wird unter eine hochauflösende Kamera (1600 x 1200 Pixel) gestellt. Über verschiedene Bildverarbeitungsfunktionen werden vereinzelte  Devices nach spezifischen Kriterien gezählt und ihre Positionen errechnet (Bild 1).

Zur Weiterverarbeitung müssen die Positionen der gefundenen Devices in Reihen und Spalten sortiert werden. Das sortierte Ergebnis wird in eine Exceldatei gespeichert. Dafür wird eine Matrix über den Wafer gezeichnet. Die Größe, Lage, Höhe der Zeilen und Breite der Spalten können mit der Maus geändert werden (Bild 2).

Nach dem Setzen der Matrix, ermittelt das Programm welches Devices in die Matrix passt oder nicht (Bild 3).
Der Operator kann nachträglich mit der Maus ein oder mehrere Devices als gültig oder ungültig kennzeichnen. Die gültigen Devices werden dann in die Exceldatei geschrieben
 

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